电子碰撞截面数据在刻蚀等离子体模拟中的应用

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标题	电子碰撞截面数据在刻蚀等离子体模拟中的应用
网址	http://dx.doi.org/10.7498/aps.73.20231598
DOI	10.7498/aps.73.20231598 doi
其它	作者：陈锦峰，朱林繁。
求助人	LL 在 2026-10-10 15:57:15 发布自湖北，悬赏 10 积分
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