Epitaxial Si/SiGe Multi-Stacks: From Stacked Nano-Sheet to Fork-Sheet and CFET Devices

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标题	Epitaxial Si/SiGe Multi-Stacks: From Stacked Nano-Sheet to Fork-Sheet and CFET Devices
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/ada79f
DOI	10.1149/2162-8777/ada79f doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Roger Loo; Anjani Akula; Yosuke Shimura; Clément Porret; Erik Rosseel; et al 出版日期：2025-01-08
求助人	傻傻的沛容在 2026-09-23 21:15:54 发布自四川，悬赏 10 积分
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