Internal modification of 4H-SiC for controlled cleavage induced by ultrafast laser: Effects of pulse width, pulse energy, and repetition frequency

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标题	Internal modification of 4H-SiC for controlled cleavage induced by ultrafast laser: Effects of pulse width, pulse energy, and repetition frequency
网址	http://dx.doi.org/10.1016/J.MSSP.2026.110935
DOI	10.1016/J.MSSP.2026.110935 doi
求助人	老实映易在 2026-10-14 21:32:36 发布自吉林，悬赏 10 积分
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