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标题
Characterization of physical-chemical drivers of Hg1-xGdxTe etch rate using time of flight—Secondary ion mass spectrometry and optical interferometry
利用飞行时间-二次离子质谱和光学干涉法表征Hg1-xGdxTe蚀刻速率的物理化学驱动因素
相关领域
分析化学(期刊) 质谱法 离子 二次离子质谱法 化学 飞行时间 材料科学 离子迁移光谱法 光谱学
网址
DOI
10.1007/s11664-006-0239-1 doi
其它 期刊:Journal of Electronic Materials
作者:R. Olshove; Gerald A. Garwood; E. Pettijohn; R. M. Emerson; F. Lua; et al
出版日期:2006-06-01
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