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  Electron emission properties of titanium nitride coated volcano-structured silicon emitters 氮化钛涂层火山结构硅发射极的电子发射特性
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Hiromasa Murata; K. Murakami; Masayoshi Nagao 出版日期：2024-01-01 |
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