| 标题 |
 A novel accurate and robust technique in after-etch overlay metrology of 3D-NAND’s memory holes 一种新的精确稳健的3D-NAND存储孔蚀刻后叠加计量技术
相关领域
覆盖
计算机科学
扫描仪
过程（计算）
计量学
指纹识别
指纹（计算）
人工智能
电子工程
工程类
光学
物理
操作系统
程序设计语言
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV 作者：Yaobin Feng; Dean Wu; Pandeng Xuan; Pavel Izikson; Payne Qi; et al 出版日期：2020-03-20 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
cdercder
pluto
归尘
Rye227
冰魂
昏睡的蟠桃
bc
jenningseastera
乐乐
ss
平常的毛豆
back you up
科研小民工
遇上就这样吧
不倦
今天只做一件事
顺心香菇
zmnzmnzmn
Auston_zhong
wy.he
皖公网安备34019202002308
