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标题
Towards accurate temperature prediction in BEOL for reliability assessment (Invited)
实现BEOL中用于可靠性评估的准确温度预测(特邀)
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DOI
10.1109/irps48203.2023.10117701 doi
其它 期刊:2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
作者:Melina Lofrano; Herman Oprins; Xinyue Chang; Bjorn Vermeersch; Olalla Varela Pedreira; et al
出版日期:2023-03-01
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