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标题
Wide Scan Angle and Large Aperture (180 Degrees/2.5 MM) Resonant Piezoelectric MEMS Mirror
网址
http://dx.doi.org/10.1109/transducers61432.2025.11109733
DOI
10.1109/transducers61432.2025.11109733 doi
其它 期刊：2025 23rd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
作者：Hung-Yu Lin; Mingching Wu; Mei-Feng Lai; Weileun Fang
出版日期：2025-06-29
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小向 在 2026-07-07 19:30:53 发布自吉林，悬赏 10 积分
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