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Hydrogen Fluoride Gas Sensor by Silicon Nanosheet Field-Effect Transistor
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DOI
10.1109/jsen.2023.3285892 doi
其它 期刊:IEEE Sensors Journal
作者:Hyeon-Tak Kwak; Hyangwoo Kim; Hyeongseok Yoo; Minkeun Choi; Kyounghwan Oh; et al
出版日期:2023-06-19
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