Nanoindentation Analysis of Mechanical Properties of Low to Ultralow Dielectric Constant SiCOH Films

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标题	Nanoindentation Analysis of Mechanical Properties of Low to Ultralow Dielectric Constant SiCOH Films
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/jmr.2005.0258 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Lugen Wang; M. Ganor; S.I. Rokhlin; Alfred Grill 出版日期：2005-08-12
求助人	朴素的草莓在 2026-08-29 19:44:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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