Evolution of ferroelectric HfO2 in ultrathin region down to 3 nm

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标题	Evolution of ferroelectric HfO2 in ultrathin region down to 3 nm
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.5017094
DOI	10.1063/1.5017094 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Xuan Tian; Shigehisa Shibayama; Tomonori Nishimura; Takeaki Yajima; Shinji Migita; et al 出版日期：2018-03-05
求助人	longyk 在 2026-09-03 20:42:32 发布自四川，悬赏 10 积分
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