In Situ Analysis of Electron-Induced Chemical Transformations in Vapor-Phase-Synthesized Al-Based InorganicOrganic Hybrid Thin Films for EUV Resist Platform

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标题	In Situ Analysis of Electron-Induced Chemical Transformations in Vapor-Phase-Synthesized Al-Based InorganicOrganic Hybrid Thin Films for EUV Resist Platform
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.4c19426.s001
DOI	10.1021/acsami.4c19426.s001 doi
其它	期刊：作者：出版日期：2025-03-14
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