| 标题 |
 300-Period Si/SiGe Superlattices on 12-inch Wafers: Growth, Structural Integrity, and Challenges Relevant to 3D DRAM Application 相关领域
材料科学
德拉姆
堆积
化学气相沉积
薄脆饼
光电子学
外延
超晶格
降级（电信）
缩放比例
动态随机存取存储器
纳米技术
上部结构
位错
沉积（地质）
应力松弛
表征（材料科学）
电子工程
纳米结构
拉伤
金属有机气相外延
纳米尺度
过程（计算）
放松（心理学）
浅沟隔离
制作
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| 其它 |
期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Xiaomeng Liu; Xiangsheng Wang; Yanpeng Song; Yiwen Zhang; Hailing Wang; et al 出版日期：2026-09-03 |
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(2025-6-4)
cdercder
Wells
Nole
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Kao
Criminology34
无极微光
dde
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aajhajkahna
Dean
清爽老九
乐空思
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GingerF
OK
秋风
yzq
悦耳的怀寒
FIN
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