Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment

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标题	Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X1...
DOI	10.1016/j.vacuum.2015.07.016 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Demetrio Jackson dos Santos; Lara Basilio Tavares; Renato Altobelli Antunes; Roosevelt Droppa; Tiago Fiorini da Silva; et al 出版日期：2015-07-30
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