Close oxygen coupled low-pressure chemical vapor deposition growth of high quality β − G a 2 O 3 on sapphire

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标题	Close oxygen coupled low-pressure chemical vapor deposition growth of high quality β − G a 2 O 3 on sapphire
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106645
DOI	10.1016/j.mssp.2022.106645 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Fatih Akyol; İlkay Demir 出版日期：2022-03-26
求助人	憨憨在 2026-09-23 21:34:27 发布自上海，悬赏 10 积分
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