A Novel Strategy Achieving GaN Ultra-Smooth Surface via a Square, Flat Top Beam Shaped Femtosecond Laser Processing Combined with Chemical Mechanical Polishing

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标题	A Novel Strategy Achieving GaN Ultra-Smooth Surface via a Square, Flat Top Beam Shaped Femtosecond Laser Processing Combined with Chemical Mechanical Polishing
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2162-8777/ac6892
DOI	10.1149/2162-8777/ac6892 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Gaopan Chen; Qingfa Peng; Jiangyou Long; Haimei Luo; Yan Zhou; et al 出版日期：2022-04-21
求助人	qiaoxi 在 2026-10-20 01:00:12 发布自福建，悬赏 10 积分
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