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High Mobility and GIDL Erase-Compatible Characteristics in Hybrid Channel (Poly-Si/IGO) for Ultrahigh 3D NAND Flash Memory Applications 用于超高3D NAND闪存应用的混合通道(Poly-Si/IGO)中的高迁移率和GIDL擦除兼容特性
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期刊:ACS Applied Electronic Materials 作者:Jae-Min Sim; Su‐Hwan Choi; Seong‐Hwan Ryu; J. D. Song; Jin‐Seong Park; et al 出版日期:2024-01-25 |
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