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 Approach to Low Contact Resistance Formation on Buried Interface in Oxide Thin-Film Transistors: Utilization of Palladium-Mediated Hydrogen Pathway 氧化物薄膜晶体管掩埋界面低接触电阻形成方法：利用钯介导的氢途径
相关领域
接触电阻
材料科学
钯
氢
氧化物
薄膜晶体管
薄膜
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接口（物质）
复合材料
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化学
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图层（电子）
有机化学
生物化学
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期刊：ACS Nano 作者：Yuhao Shi; Masatake Tsuji; Hanjun Cho; Shigenori Ueda; Junghwan Kim; et al 出版日期：2024-03-22 |
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