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Thermal Atomic Layer Etching of Zinc Sulfide Using Sequential Trimethylaluminum and Hydrogen Fluoride Exposures: Evidence for a Conversion Mechanism
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网址
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.3c00616
DOI
10.1021/acs.chemmater.3c00616 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Taewook Nam; Jonathan L. Partridge; Steven M. George
出版日期：2023-08-16
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嘟嘟111 在 2026-01-06 12:25:11 发布自湖北，悬赏 10 积分
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