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 Room-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of ZnO: Film growth dependence on the PEALD reactor configuration 相关领域
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Mari Napari; Manu Lahtinen; A. A. Veselov; Jaakko Julin; Erik Østreng; et al 出版日期：2017-07-25 |
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