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  Controllable Si micro-structuring by temporally modulated single-shot femtosecond pulse lithography 时间调制单次飞秒脉冲光刻可控硅微结构
相关领域
平版印刷术
硅
飞秒
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
材料科学
再结晶（地质）
通量
光电子学
纳米技术
光学
制作
激光器
物理
图层（电子）
替代医学
古生物学
病理
生物
医学
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Yang Liu; Ji Huang; Yunxia Ye; Misheng Liang; Zijie Dai; et al 出版日期：2024-04-01 |
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