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标题
Fluorine-free Word Line Molybdenum Process for Enhancing Scalability and Reliability in 3D Flash Memory
相关领域
可扩展性 计算机科学 闪光灯（摄影） 可靠性（半导体） 过程（计算） 钼 闪存 词（群论） 材料科学 嵌入式系统 操作系统 冶金 艺术 功率（物理） 语言学 物理 哲学 量子力学 视觉艺术
网址
https://doi.org/10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631...
DOI
10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631406 doi
其它 期刊：
作者：Tadashi Fukushima; Takeo Kashima; S. Seto; H. Ohtori; Masaru Kato; et al
出版日期：2024-06-16
求助人
ML 在 2025-10-29 15:39:58 发布自湖北，悬赏 10 积分
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