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 Device Modeling and Optimization of MEMS Based Capacitive Pressure Sensor 基于MEMS的电容式压力传感器的器件建模与优化
相关领域
电容感应
微电子机械系统
压力传感器
计算机科学
电子工程
电气工程
材料科学
工程类
机械工程
光电子学
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期刊： 作者：Praveen Kumar Yadav; Radwanul Hasan Siddique; Saurabh Kumar Pandey 出版日期：2024-09-23 |
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