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Device Modeling and Optimization of MEMS Based Capacitive Pressure Sensor

电容感应 微电子机械系统 压力传感器 计算机科学 电子工程 电气工程 材料科学 工程类 机械工程 光电子学
作者
Praveen Kumar Yadav,Radwanul Hasan Siddique,Saurabh Kumar Pandey
标识
DOI：10.1109/nusod62083.2024.10723636
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