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 A long-stroke lifetime piezo inertial actuation and its application in micro-nano observation 一种长行程寿命压电惯性驱动器及其在微纳观测中的应用
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期刊：Mechanical Systems and Signal Processing 作者：Guangda Qiao; Yuning Jiang; Qing Cao; G. Q. Gong; Dan Zhang; et al 出版日期：2025-05-31 |
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