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 AZO work function enhanced by oxygen plasma immersion ion implantation 氧等离子体浸没离子注入增强偶氮功函数
相关领域
X射线光电子能谱
等离子体浸没离子注入
开尔文探针力显微镜
工作职能
氧气
分析化学（期刊）
化学计量学
表面改性
兴奋剂
离子
材料科学
原子力显微镜
薄膜
化学
离子注入
纳米技术
化学工程
光电子学
物理化学
色谱法
图层（电子）
有机化学
工程类
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期刊：Vacuum 作者：Zebin Li; Lianbi Li; Guoqing Zhang; Lixun Song; Zheyan Tu; et al 出版日期：2023-03-24 |
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(2025-6-4)
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