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标题
AZO work function enhanced by oxygen plasma immersion ion implantation
氧等离子体浸没离子注入增强偶氮功函数
相关领域
X射线光电子能谱 等离子体浸没离子注入 开尔文探针力显微镜 工作职能 氧气 分析化学（期刊） 化学计量学 表面改性 兴奋剂 离子 材料科学 原子力显微镜 薄膜 化学 离子注入 纳米技术 化学工程 光电子学 物理化学 色谱法 图层（电子） 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112038
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.112038 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Zebin Li; Lianbi Li; Guoqing Zhang; Lixun Song; Zheyan Tu; et al
出版日期：2023-03-24
求助人
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