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 Nucleation and growth during the atomic layer deposition of W on Al2O3 and Al2O3 on W W在Al2O3和Al2O3在W上原子层沉积过程中的成核和生长
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期刊：Thin Solid Films 作者：Robert K. Grubbs; Christopher E. Nelson; Neven J. Steinmetz; Steven M. George 出版日期：2004-05-08 |
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