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Nucleation and growth during the atomic layer deposition of W on Al2O3 and Al2O3 on W

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作者

Robert K. Grubbs,Christopher E. Nelson,Neven J. Steinmetz,Steven M. George

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2004-05-08 卷期号：467 (1-2): 16-27 被引量：60

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2004.02.099

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