Atomically smooth gallium nitride surface prepared by chemical-mechanical polishing with different abrasives

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标题	Atomically smooth gallium nitride surface prepared by chemical-mechanical polishing with different abrasives 相关领域化学机械平面化抛光材料科学磨料泥浆氮化镓胶体二氧化硅表面粗糙度氮化物外延铝镓氧化铝表面光洁度复合材料冶金图层（电子）涂层
网址	https://doi.org/10.1177/1350650114535383
DOI	10.1177/1350650114535383 doi
其它	期刊：Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part J Journal of Engineering Tribology 作者：Chunli Zou; Guoshun Pan; Xiao‐Lei Shi; Hua Gong; Yan Zhou 出版日期：2014-05-11
求助人	沙lulu沙在 2025-11-03 14:19:31 发布自云南，悬赏 10 积分
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