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  Remarkable plasma-resistance performance by nanocrystalline Y2O3·MgO composite ceramics for semiconductor industry applications 相关领域
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期刊：Scientific Reports 作者：Hyeon-Myeong Oh; Young-Jo Park; Ha-Neul Kim; Kundan Kumar; Jae-Woong Ko; et al 出版日期：2021-05-13 |
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