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 Subnanometer-thick 2D GaN film with a large bandgap synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition 相关领域
化学气相沉积
材料科学
等离子体
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等离子体刻蚀
蚀刻（微加工）
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光电子学
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期刊：Journal of materials chemistry. A, Materials for energy and sustainability 作者：Gehui Zhang; Luchen Chen; Le Wang; Zhanjie Lu; Haoyu Dong; et al 出版日期：2022-01-01 |
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