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Subnanometer-thick 2D GaN film with a large bandgap synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition
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作者
Gehui Zhang,
Luchen Chen,
Le Wang,
Zhanjie Lu,
Haoyu Dong,
Zhihai Cheng,
Xu Zhang,
Xiaohui Xu,
Bin Wang,
Shanshan Chen
出处
期刊：
Journal of materials chemistry. A, Materials for energy and sustainability
[Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：10 (8): 4053-4059
被引量：23
标识
DOI：10.1039/d1ta10450k
摘要
An improved template method has been developed to synthesize subnanometer-thick 2D GaN films through the balance of nitridation and ion etching during N 2 plasma enhanced CVD.
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