Recess-Free E-Mode AlGaN/GaN MIS-HFET with Crystalline PEALD AlN Passivation Process

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标题	Recess-Free E-Mode AlGaN/GaN MIS-HFET with Crystalline PEALD AlN Passivation Process 相关领域材料科学钝化原子层沉积光电子学异质结无定形固体阈值电压等离子体增强化学气相沉积薄膜图层（电子）制作氮化物半导体蚀刻（微加工）晶体管化学气相沉积纳米技术电压电气工程医学化学替代医学有机化学工程类病理
网址	https://doi.org/10.3390/electronics12071667
DOI	10.3390/electronics12071667 doi
其它	期刊：Electronics 作者：Won-Ho Jang; Jun-Hyeok Yim; Hyungtak Kim; Ho-Young Cha 出版日期：2023-03-31
求助人	limuze 在 2023-05-30 21:21:38 发布自吉林，悬赏 10 积分
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