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 Investigation of stannane (SnH4) decomposition and sticking coefficient on varied metal surfaces in EUV lithography environments EUV光刻环境下锡烷（SnH4）在不同金属表面的分解和粘附系数的研究
相关领域
极紫外光刻
锡烷
平版印刷术
材料科学
分解
金属
锡
光电子学
化学
冶金
有机化学
药物化学
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期刊： 作者：E. F. Greene; Nathan Bartlett; Dren Qerimi; D. N. Ruzic 出版日期：2025-02-19 |
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