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Signal-to-noise ratio evaluation for the nanometer-scale patterned defect inspection using dark-field microscopy with tailored polarization illumination
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DOI
10.1117/12.2567116 doi
其它 期刊:Reflection, Scattering, and Diffraction from Surfaces VII
作者:Akinori Ohkubo; Janghwi Lee; Hyungu Kim; Jiyoung Chu; Sungho Jang; et al
出版日期:2020-08-20
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hahahello 在 2026-07-30 13:27:25 发布自上海,悬赏 20 积分
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