A High Selective Contacts Scheme for 3D Sequential CFETS via One-Step Etching and Low-K Etch Stop Layer

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标题	A High Selective Contacts Scheme for 3D Sequential CFETS via One-Step Etching and Low-K Etch Stop Layer
网址	http://dx.doi.org/10.1109/cstic68613.2026.11537894
DOI	10.1109/cstic68613.2026.11537894 doi
其它	期刊：2026 Conference of Science and technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Zhongshan Xie; Yingze Ren; Meihe Zhang; Hang Zhang; Zhanfeng Liu; et al 出版日期：2026-03-22
求助人	俊逸湘在 2026-08-11 19:05:39 发布自江苏，悬赏 10 积分
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