Particle inspection capability for mature masks with MATRICS x783 inspection tool

已完结

文献求助详情

标题	Particle inspection capability for mature masks with MATRICS x783 inspection tool
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3069790
DOI	10.1117/12.3069790 doi
其它	期刊：Photomask Japan 2025: XXXI Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology 作者：Federico Romeo; Andrea Galbiati; Luca Sartelli; Hidemichi Imai; Jeong-Soon Kim; et al 出版日期：2025-07-21
求助人	强健的面包在 2026-09-16 17:58:23 发布自四川，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: qingzx发布了新的文献求助10

8秒前; 笨笨的夏柳完成签到，获得积分10

11秒前; navon完成签到，获得积分10

13秒前; 英姑的应助被自由飞翔采纳，获得10

24秒前; 单薄的飞风完成签到，获得积分10

25秒前; 丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10

27秒前; utopia完成签到，获得积分10

52秒前; 情怀的应助被罗祥宇采纳，获得10

53秒前; aa完成签到，获得积分10

59秒前; 完美世界上传了应助文件

1分钟前; taysun完成签到，获得积分10

1分钟前; 情怀上传了应助文件

1分钟前; 英勇问晴完成签到，获得积分10

1分钟前; 夏笠发布了新的文献求助10

1分钟前; 罗祥宇发布了新的文献求助10

1分钟前; humorlife完成签到，获得积分10

1分钟前; 现代的冰海完成签到，获得积分10

1分钟前; zyyicu完成签到，获得积分10

1分钟前; 爱撒娇的芷巧完成签到，获得积分10

1分钟前; 平和的狍子完成签到，获得积分10

1分钟前; 初心完成签到，获得积分10

1分钟前; 祎辰完成签到，获得积分10

1分钟前; 段皖顺完成签到，获得积分10

1分钟前; 汉堡包上传了应助文件

1分钟前; 甄茗发布了新的文献求助10

1分钟前; 可乐关闭了可乐的文献求助

1分钟前; 火星上的笑寒完成签到，获得积分10

1分钟前; cdercder的应助被研友_8RyzBZ采纳，获得10

1分钟前; 牛初辰完成签到，获得积分10

2分钟前; 研友_8RyzBZ完成签到，获得积分10

2分钟前; dawnfrf的应助被温柔凌晴采纳，获得30

2分钟前; 11完成签到，获得积分10

2分钟前; 坚定的咖啡完成签到，获得积分10

2分钟前; Wells的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 夏笠完成签到，获得积分10

2分钟前; 浩浩完成签到，获得积分0

2分钟前; CipherSage的应助被小熊座a采纳，获得10

2分钟前; 快乐碱基对完成签到，获得积分10

2分钟前; 小吴完成签到，获得积分10

2分钟前; 呆萌尔风完成签到，获得积分10

2分钟前