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The role of anchor imposed motion in the failure of MEMS microphones under free fall tests
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DOI
10.1016/j.microrel.2022.114584 doi
其它 期刊:Microelectronics Reliability
作者:Aldo Ghisi; David Faraci; Silvia Adorno; Alberto Corigliano
出版日期:2022-06-17
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