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标题
Sputtered W–N diffusion barriers
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/3/6/2246/12214582/2...
DOI
10.1116/1.572901 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：H. P. Kattelus; E. Kolawa; K. Affolter; M-A. Nicolet
出版日期：2002-07-27
求助人
耍酷夏彤 在 2026-08-07 22:50:45 发布自英国，悬赏 10 积分
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