Plasma-enhanced atomic layer deposition of crystalline GaN thin films on quartz substrates with sharp interfaces

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标题	Plasma-enhanced atomic layer deposition of crystalline GaN thin films on quartz substrates with sharp interfaces
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002639
DOI	10.1116/6.0002639 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Sanjie Liu; Yangfeng Li; Qing Liu; Jiayou Tao; Xinhe Zheng 出版日期：2023-08-31
求助人	fei 在 2026-07-19 00:46:51 发布自湖南，悬赏 10 积分
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