Development of a gas-phase chemistry model for numerical prediction of MOVPE of GaN in industrial scale reactors

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标题	书籍（章节） Development of a gas-phase chemistry model for numerical prediction of MOVPE of GaN in industrial scale reactors
网址	http://dx.doi.org/10.1007/978-3-7091-6827-1_6
DOI	10.1007/978-3-7091-6827-1_6 doi
其它	期刊：Simulation of Semiconductor Processes and Devices 1998 作者：Yu E. Egorov; Yu N. Makarov; I. N. Przhevalskij; R. A. Talalaev; G. Strauch; et al 出版日期：1998-01-01
求助人	liu 在 2026-08-11 13:47:21 发布自北京，悬赏 30 积分
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