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标题
Effect of organic ligand and metal nano-cluster core structure on resist performance of inorganic-organic hybrid resist materials for EUV lithography
网址
DOI
10.1117/12.3071800 doi
其它 期刊:International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2025
作者:H. Yamamoto; K. Okamoto; S. Shimoda; T. Kozawa
出版日期:2025-11-06
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樊珩 在 2026-08-10 01:12:41 发布自上海,悬赏 20 积分
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