Prediction of critical dimensions for 3D TSV structures using artificial neural network

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标题	Prediction of critical dimensions for 3D TSV structures using artificial neural network
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3010132
DOI	10.1117/12.3010132 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII 作者：Jia-Wei Li; Eugene Su; Chao-Ching Ho 出版日期：2024-04-10
求助人	六六在 2026-07-20 07:44:29 发布自河南，悬赏 20 积分
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