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标题
[高分] Heterogeneous Integration of a 300-mm Silicon Photonics-CMOS Wafer Stack by Direct Oxide Bonding and Via-Last 3-D Interconnection
网址
http://meridian.allenpress.com/jmep/article-pdf/13/2/71/2243...
DOI
10.4071/imaps.494 doi
其它 期刊：Journal of Microelectronics and Electronic Packaging
作者：Colin McDonough; Doug La Tulipe; Dan Pascual; Paul Tariello; John Mucci; et al
出版日期：2016-06-23
求助人
Rubisco 在 2026-07-15 16:41:18 发布自北京，悬赏 100 积分
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