等离子体刻蚀中反应物输运对剖面演化影响的多尺度研究

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标题	等离子体刻蚀中反应物输运对剖面演化影响的多尺度研究
网址	https://kns.cnki.net/kcms2/article/abstract?v=e_WjztTC4N2nig...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	haikuotian 在 2026-01-01 22:03:35 发布自广东，悬赏 10 积分
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