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Molecular dynamics simulation of the Al2O3film structure during atomic layer deposition
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网址
https://doi.org/10.1080/08927020802468372
DOI
10.1080/08927020802468372 doi
其它 期刊：Molecular Simulation
作者：Zheng Hu; Junxia Shi; C. Heath Turner
出版日期：2008-12-12
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Melody 在 2026-01-19 12:58:38 发布自浙江，悬赏 30 积分
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