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AlGaN/GaN HEMT Based pH Detection Using Atomic Layer Deposition of Al2O3 as Sensing Membrane and Passivation 基于AlGaN/GaN HEMT的pH检测,采用原子层沉积Al2O3作为传感膜和钝化
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期刊:IEEE Transactions on Nanotechnology 作者:Aasif Mohammad Bhat; C. Periasamy; Ritu Poonia; Arathy Varghese; Nawaz Shafi; et al 出版日期:2023-01-01 |
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