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 Back-End of Line Compatible HZO/ZrO2 Ferroelectric Capacitor Achieving 2Pr of 51.1 μC/cm², High-k(~48.4), and Endurance Exceeding 1011 cycles under Low-voltage Operation 后台兼容HZR/ZR 2铁电电容器可实现51.1 μC/厘米²的2 Pr、高k（~48.4）和在低压工作下超过1011个周期的耐久性
相关领域
铁电性
电容器
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Lei Wang; Kangli Xu; Yongkai Liu; Anna Yuan; Jiajie Yu; et al 出版日期：2025-01-01 |
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