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Composition dependence of the work function of Ta1−xAlxNy metal gates
Ta1-xAlxNy金属栅极功函数的成分依赖性
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工作职能 金属浇口 工作（物理） 功能（生物学） 栅极电介质 材料科学 电介质 金属 分析化学（期刊） 氮气 化学 光电子学 栅氧化层 热力学 冶金 电气工程 晶体管 物理 环境化学 有机化学 工程类 生物 电压 进化生物学
网址
https://doi.org/10.1063/1.2174836
DOI
10.1063/1.2174836 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Husam N. Alshareef; Kiho Choi; H.C. Wen; H.F. Luan; H. R. Harris; et al
出版日期：2006-02-13
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PP 在 2025-12-09 14:43:17 发布自安徽，悬赏 10 积分
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