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标题
Control of Cu morphology on TaN barrier and combined Ru-TaN barrier/liner substrates for nanoscale interconnects from atomistic kinetic Monte Carlo simulations
基于原子动力学蒙特卡罗模拟的纳米互连TaN势垒和Ru-TaN势垒/衬底组合衬底上Cu形貌的控制
相关领域
小型化 纳米尺度 材料科学 互连 动力学蒙特卡罗方法 纳米技术 蒙特卡罗方法 计算机科学 计算机网络 数学 统计
网址
DOI
10.1039/d4nr04505j doi
其它 期刊:Nanoscale
作者:Samuel Aldana; Cara‐Lena Nies; Michael Nolan
出版日期:2025-01-01
求助人
jingjing 在 2025-12-10 10:04:35 发布自安徽,悬赏 10 积分
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